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重慶西部科學城發布我國首個自主180納米硅光工藝 開啟光電子集成新篇章

重慶西部科學城發布我國首個自主180納米硅光工藝 開啟光電子集成新篇章

重慶西部科學城傳出振奮人心的消息:由本地科研團隊主導研發的我國首個自主開發的180納米成套硅光工藝取得重大突破,并已通過技術驗證,標志著我國在硅基光電子這一前沿核心領域實現了從工藝到器件的完整自主創新突破。這一成果不僅填補了國內空白,也為我國信息光電子產業的發展注入了強勁動力。

硅光技術,即在硅襯底上集成光電子器件,是未來高速通信、高性能計算、人工智能及量子信息等領域的底層關鍵技術。長期以來,高端硅光工藝及核心知識產權主要掌握在國外少數企業手中,成為制約我國相關產業發展的瓶頸。重慶科研團隊此次突破的180納米成套硅光工藝,涵蓋了從工藝設計工具包(PDK)、關鍵工藝模塊到流片驗證的全鏈條,具備了面向產業的設計與制造能力。

此次研發由重慶西部科學城內的高校、科研院所與高新技術企業協同攻關完成,屬于“工程和技術研究和試驗發展”的重要范疇。團隊攻克了硅基光波導低損耗刻蝕、高效率光電調制器與探測器集成、異質材料鍵合等一系列技術難題,工藝線達到了可量產的技術成熟度。基于該工藝平臺,已成功流片并驗證了多款高速光調制器、光開關及波分復用器件,性能指標達到國際先進水平。

業內專家指出,該成果的產業化應用前景十分廣闊。它將極大降低國內企業研發硅光芯片的門檻和成本,加速光通信模塊(尤其是用于數據中心的高速光模塊)的國產化替代進程。該平臺為研制更復雜的光電集成芯片(如激光雷達芯片、光子計算芯片)提供了可靠的工藝基礎,將有力助推重慶乃至全國在自動駕駛、人工智能等新興賽道構建核心競爭力。

重慶西部科學城作為西部重要的科技創新策源地,已將光電子產業列為重點發展的主導產業之一。此次重大突破是科學城聚焦國家戰略需求、深化科技體制改革、推動產學研深度融合的典型成果。它不僅是重慶打造具有全國影響力的科技創新中心進程中的一座里程碑,也為西部地區的產業轉型升級和高水平科技自立自強樹立了標桿。隨著該工藝平臺的不斷完善與迭代,以及更多創新主體的參與,我國在全球硅光領域的競爭中將贏得更多主動權。

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更新時間:2026-04-16 10:15:17

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